日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時間： 2015-12-29　　點擊次數(shù)： 832次

一、產(chǎn)品簡介

CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境，產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計，具有*的耐腐蝕性能，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點

由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。

三、主要性能指標(biāo)

型號		CFB-600N
進(jìn)氣口法蘭	—	LF160	CF150
排氣口法蘭	—	KF40
抽氣速率	L/s	600
壓縮比N2/H2	—	1×109/8×103
極限壓強(qiáng)	Pa	5×10-7	8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	24000
啟動時間	min	＜4.5
使用場合	—	耐腐蝕
振動值	μm	≤0.1
前極泵	L/s	4-8
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<550
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～29

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線

CFB系列抗沖擊分子泵對氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號規(guī)格	CFB-600N
高真空法蘭	LF160	CF150
D1	Ф180	Ф202
D2	Ф236	Ф236
D3	□145.7	□145.7
L1	128	128
L2	137	137
H1	395.5	395.5
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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